Microscope FEI Tecnai F20
Microscope analytique
Le microscope électronique FEI Tecnai F20 est le dernier MET acquis par l’ICMPE.
Ce microscope de dernière génération est équipé :
- d’un canon à émission de champ (FEG),
- d’un dispositif de balayage (STEM),
- d’un détecteur EDX (EDAX R-TEM Sapphire)
- d’un spectromètre de perte d’énergie des électrons (GIF 2001).
Cet appareil est dedié à la nanoanalyse.
Spécificité : analytique
- Source d’électron : émission de champ Schottky
- Fort courant de sonde ( >0.5 nA pour 1 sonde de 1 nm)
- Faible dispersion d’énergie ( < 0.7 eV )
Tomographie électronique
Le microscope est équipé d’un système Gatan permettant l’acquisition de données tomographiques en mode TEM, EFTEM et STEM. De plus le porte-objet dédié à la tomographie est un porte-objet cryogénique permettant d’effectuer ces analyses à basse température (de -170°C à l’ambiante). En complément du mode d’acquisition TEM, nous disposons aussi d’un mode low-dose pour les échantillons se dégradant rapidement sous le faisceau d’électrons.
STEM
Le microscope possède un ensemble complet de détecteurs STEM :
- Champ clair (BF)
- Champ sombre annulaire (ADF)
- Champ sombre annulaire grand angle (HAADF) Le STEM est piloté par le logiciel Digital Micrograph permettant l’acquisition simultanée de datacubes EDS et EELS ainsi que leur quantification.
Porte-objets
- Simple tilt
- Simple tilt cryo tomographie
- Double tilt analytique
- Double tilt cryo
- Simple tilt cryo transfert étanche permettant de transférer des échantillons sensibles à l’air depuis une boîte à gants dédiée vers le microscope.
Caractéristiques
- Angle de tilt (jusqu’à +/-70°)
- Résolution ponctuelle 0.24 nm
- Filtre d’énergie GIF 2001
- Spectrométrie EELS
- Image d’électrons filtrés EFTEM
- STEM Gatan avec Digiscan II et détecteurs BF, DF et HAADF
- Champ clair et champ sombre en mode image
- Cartographie d’analyse chimique
- Micro-analyse X : Détecteur EDX Si(Li) EDAX résolution : 129eV