Présentation
La plateforme Spectroscopies (SPE) est équipée d’un K-alpha Thermofisher Scientific. Cet appareillage permet d’obtenir des informations qualitatives et quantitatives sur la composition chimique des surfaces étudiées ainsi que sur la nature des liaisons chimiques mises en jeu d’échantillons massifs, sous forme de films mais aussi de poudres.
Tous les éléments de la classification périodique sont détectables mis à part l’hydrogène et l’hélium. Cette technique d’analyse non-destructive mise en œuvre sous ultra haut vide permet d’analyser en profondeur (de l’ordre du nanomètre) l’échantillon sur une zone de 40 à 400μm.
Cet appareil entièrement automatisé et piloté par le logiciel Avantage® permet l’acquisition de cartographies spectrales des échantillons d’une résolution sub micrométrique. De plus, la présence d’un canon à ions permet également la mesure de profils en profondeur. Grâce à son système de compensation de charge, des échantillons isolants peuvent aussi être analysés.
Caractéristiques techniques
Analyseur d’électrons et détecteur
- Analyseur hémisphérique (180°) à double focalisation
- « Take off angle’ » : 0°
- Energie de passage de 1 à 400 eV
- Pas minimum de 3 meV
- Angle d’acceptance de 60° (± 30°)
- Détecteur MCP 128 canaux
Source X monochromatisée et micro-focalisée
- Anode Aluminium (Al Kα = 1486,7 eV)
- Taille de spot de 40 à 400 μm
- Puissance de travail de 72 W
- Angle analyseur/X Ray de 56°
Source combinée basse énergie électrons/diffusion d’ions pour la neutralisation de la charge
- Source de type ‘ « Dual Beam’ »
- Electron Energy typiquement 0 à 5 eV
- Electron Beam Current typiquement 250 μA
- Energy typiquement 20 eV
- Ion Current typiquement 20 nA
Canon à ions pour les profils en profondeur et le nettoyage des échantillons
- Gamme d’énergie : 100 eV à 4 KeV
- Courant ionique maximum : > 4 μA
- Taille de spot : 200 μm à 2,5 μA et 4 KeV
- Gaz utilisé : Ar